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| 内容 |
研究発表 |
| 巻 |
17巻2/3号2012年
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| Page |
170
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| 題名 |
オゾン発生装置の分光によるガス温度測定とオゾン発生特性
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| Title |
Ozone Synthesis and Gas Temperature Measurements by Spectroscopy in Ozone Generator |
| 著者 |
村田隆昭，雨森清行，中嶋可南子，久保貴恵 |
| Authors |
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| 著者表記 |
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| 著者表記(英) |
Takaaki Murata, Kiyoyuki Amemori, Kanako Nakajima and Kie Kubo |
| 著者勤務先名 |
(株)東芝 |
| Office name |
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| 著者所属名 |
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| キーワード |
オゾン，プラズマ，誘電体バリア放電，分光，モデル |
| Key Words |
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| 概要 |
オゾン発生装置で用いられる誘電体バリア放電におけるマイクロ放電の局所的短時間的なガス温度上昇を考慮する必要がある。そこで、分光によりガス温度の測定を行った。その結果、およそ100K のガス温度上昇が認められた。このガス温度上昇について温度拡散モデルによりガス温度の緩和時間を求めたところ、放電により生成するO からO3 への変換にはこのガス温度上昇を考慮する必要があることがわかった。本論文ではこのようなガス温度上昇を考慮したモデルにおけるオゾン発生特性についても議論する。 |
| Abstract |
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